中国科学院微电子研究所 明安杰 男 硕导
作者:科大科院考研网 发表时间:2020-03-16 来源:研招办
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研究领域
招生信息
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
MEMS智能传感器
物联网及智能硬件
MEMS智能传感器
物联网及智能硬件
教育背景
2005-03--2008-06 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 博士
2002-09--2005-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 硕士
1998-09--2002-07 聊城大学 学士
2002-09--2005-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 硕士
1998-09--2002-07 聊城大学 学士
学历
学位
工作经历
工作简历
2013-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研二级
2011-07~2013-11,中国科学院微电子研究所, 副研三级
2011-07~现在, 江苏物联网研究发展中心, 副研
2008-07~2011-07,中国科学院微电子研究所, 助研
2011-07~2013-11,中国科学院微电子研究所, 副研三级
2011-07~现在, 江苏物联网研究发展中心, 副研
2008-07~2011-07,中国科学院微电子研究所, 助研
社会兼职
2016-05-01-今,企业硕导, 中北大学-仪器科学与技术学院研究生导师
教授课程
专利与奖励
奖励信息
(1) 吉林省科技厅科技成果三等奖, 三等奖, 省级, 2004
专利成果
( 1 ) 倾斜下电极式光开关的闩锁, 实用新型, 2005, 第 3 作者, 专利号: 03251920.6
( 2 ) 微机械光开关的闩锁及制作, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: 03127612.1
( 3 ) 微机械推拉式可调谐光栅, 发明, 2009, 第 2 作者, 专利号: 101493574 B
( 4 ) 基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 101441112 B
( 5 ) 一种晶圆级MEMS器件的真空封装结构及封装方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210088182.3
( 6 ) 一种晶圆临时键合方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 201210260218.1
( 7 ) 一种柔性多参数传感器及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210265331.9
( 8 ) 一种柔性多参数传感器, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201220366634.5
( 9 ) 一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201210300822.2
( 10 ) 一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: 201210303727.8
( 11 ) 基于黒硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其制备方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: 201210303746.0
( 12 ) 用于传感器芯片的开放式封装结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220491566.5
( 13 ) 用于传感器芯片的开放式封装结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210358177.X
( 14 ) 一种MEMS温度传感器的封装结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220489285.6
( 15 ) 一种MEMS温度传感器的封装结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210359753.2
( 16 ) MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220491118.5
( 17 ) MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法, 发明, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210357917.8
( 18 ) 压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220501087.7
( 19 ) 一种压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220500936.7
( 20 ) 一种压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210372437.9
( 21 ) 压力传感器温度特性的测试装置, 发明, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210372438.3
( 22 ) 电互联阵列的测试结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220560105.9
( 23 ) 电互联阵列的测试结构及其测试方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210422224.2
( 24 ) 单片集成式微型红外气体传感器, 实用新型, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201320269323.1
( 25 ) 单片集成式微型红外气体传感器, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201310182931.3
( 26 ) MOS气体传感器及其制备方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510393508.7
( 27 ) [18.] 集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器及其制作方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610133211.1
( 28 ) [17.] 集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201620179891.6
( 2 ) 微机械光开关的闩锁及制作, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: 03127612.1
( 3 ) 微机械推拉式可调谐光栅, 发明, 2009, 第 2 作者, 专利号: 101493574 B
( 4 ) 基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 101441112 B
( 5 ) 一种晶圆级MEMS器件的真空封装结构及封装方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210088182.3
( 6 ) 一种晶圆临时键合方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 201210260218.1
( 7 ) 一种柔性多参数传感器及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210265331.9
( 8 ) 一种柔性多参数传感器, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201220366634.5
( 9 ) 一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201210300822.2
( 10 ) 一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: 201210303727.8
( 11 ) 基于黒硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其制备方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: 201210303746.0
( 12 ) 用于传感器芯片的开放式封装结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220491566.5
( 13 ) 用于传感器芯片的开放式封装结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210358177.X
( 14 ) 一种MEMS温度传感器的封装结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220489285.6
( 15 ) 一种MEMS温度传感器的封装结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210359753.2
( 16 ) MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220491118.5
( 17 ) MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法, 发明, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210357917.8
( 18 ) 压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220501087.7
( 19 ) 一种压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220500936.7
( 20 ) 一种压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210372437.9
( 21 ) 压力传感器温度特性的测试装置, 发明, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210372438.3
( 22 ) 电互联阵列的测试结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220560105.9
( 23 ) 电互联阵列的测试结构及其测试方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210422224.2
( 24 ) 单片集成式微型红外气体传感器, 实用新型, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201320269323.1
( 25 ) 单片集成式微型红外气体传感器, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201310182931.3
( 26 ) MOS气体传感器及其制备方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510393508.7
( 27 ) [18.] 集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器及其制作方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610133211.1
( 28 ) [17.] 集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201620179891.6
出版信息
发表论文
(1) A compact Infrared gas sensor based on an asymmetry gas cavity, Key Engineering Materials, 2015, 第 1 作者
(2) 基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台, The automated testing platform for multi-channel MEMS accelerometers based on visual instrument technique, Infrared and Laser Engineering, 2014, 第 1 作者
(3) Research of a optical Mini-type gas sensor based on an asymmetry gas cavity, The5thInternational Conference of CSMNT2014, 2014, 第 1 作者
(4) Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, J. Micromech. Microeng, 2013, 第 3 作者
(5) Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, Journal of Infrared And Millimeter Waves, 2013, 第 3 作者
(6) CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作, Design and fabrication of CMOS compatible IRFPA, Infrared and Laser Engineering, 2010, 第 1 作者
(7) A compressed wide period-tunable grating working in low voltage, Journal of Semiconductors, 2010, 第 3 作者
(8) A compressed wide period-tunable grating working at low voltage, Journal of Semiconductors, 2010, 第 3 作者
(9) MEMS compressed tunable grating, Proc. SPIE, 2009, 第 3 作者
(10) Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement in Low Driving Voltage, The Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 第 1 作者
(11) Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss, Proc. SPIE , 2005, 第 1 作者
(2) 基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台, The automated testing platform for multi-channel MEMS accelerometers based on visual instrument technique, Infrared and Laser Engineering, 2014, 第 1 作者
(3) Research of a optical Mini-type gas sensor based on an asymmetry gas cavity, The5thInternational Conference of CSMNT2014, 2014, 第 1 作者
(4) Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, J. Micromech. Microeng, 2013, 第 3 作者
(5) Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, Journal of Infrared And Millimeter Waves, 2013, 第 3 作者
(6) CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作, Design and fabrication of CMOS compatible IRFPA, Infrared and Laser Engineering, 2010, 第 1 作者
(7) A compressed wide period-tunable grating working in low voltage, Journal of Semiconductors, 2010, 第 3 作者
(8) A compressed wide period-tunable grating working at low voltage, Journal of Semiconductors, 2010, 第 3 作者
(9) MEMS compressed tunable grating, Proc. SPIE, 2009, 第 3 作者
(10) Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement in Low Driving Voltage, The Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 第 1 作者
(11) Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss, Proc. SPIE , 2005, 第 1 作者
发表著作
科研活动
科研项目
( 1 ) 基于SOI硅片CMOS-MEMS工艺兼容的IRFPA研究, 主持, 部委级, 2011-01--2012-01
( 2 ) 集成纳米结构的多参数MEMS红外气体传感器, 主持, 国家级, 2014-01--2018-12
( 3 ) 基于等离子体共振理论单片集成式气体传感器关键技术研究, 参与, 省级, 2013-07--2016-06
( 4 ) 面向物联网用高集成度微型CO2气体传感器, 主持, 国家级, 2012-01--2013-12
( 5 ) 面向物联网用MEMS多传感器自动化测试系统开发, 主持, 国家级, 2012-01--2013-12
( 6 ) 集成电路与MEMS集成封装测试服务平台, 参与, 国家级, 2011-01--2013-12
( 7 ) 无源、无线、多参数维纳传感器与系统, 参与, 国家级, 2013-01--2015-12
( 2 ) 集成纳米结构的多参数MEMS红外气体传感器, 主持, 国家级, 2014-01--2018-12
( 3 ) 基于等离子体共振理论单片集成式气体传感器关键技术研究, 参与, 省级, 2013-07--2016-06
( 4 ) 面向物联网用高集成度微型CO2气体传感器, 主持, 国家级, 2012-01--2013-12
( 5 ) 面向物联网用MEMS多传感器自动化测试系统开发, 主持, 国家级, 2012-01--2013-12
( 6 ) 集成电路与MEMS集成封装测试服务平台, 参与, 国家级, 2011-01--2013-12
( 7 ) 无源、无线、多参数维纳传感器与系统, 参与, 国家级, 2013-01--2015-12
参与会议
(1)Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering 2016-04-17
(2)CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON 2016-04-17
(3)Research of a optical Mini-type gas sensor based on an asymmetry gas cavity Anjie Ming1,2*,Wenbo Zhang2, Zhenxin Tan2,Wen Ou1,2 , Haiping Shang1,2,Qiulin Tan3,Haiyang Mao1,2, Jijun Xiong3, Dapeng Chen1 2014-08-31
(4)基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统 第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 明安杰 赵敏 谭振新 吴健 欧文 陈大鹏 2013-07-22
(5)CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作 第九届全国光电技术学术交流会 明安杰,陈大鹏,欧 文,王玮冰,何 伟,刘占峰 2009-05-29
(6)Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss AnJie.Ming 2005-10-15
(2)CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON 2016-04-17
(3)Research of a optical Mini-type gas sensor based on an asymmetry gas cavity Anjie Ming1,2*,Wenbo Zhang2, Zhenxin Tan2,Wen Ou1,2 , Haiping Shang1,2,Qiulin Tan3,Haiyang Mao1,2, Jijun Xiong3, Dapeng Chen1 2014-08-31
(4)基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统 第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 明安杰 赵敏 谭振新 吴健 欧文 陈大鹏 2013-07-22
(5)CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作 第九届全国光电技术学术交流会 明安杰,陈大鹏,欧 文,王玮冰,何 伟,刘占峰 2009-05-29
(6)Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss AnJie.Ming 2005-10-15
合作情况
项目协作单位
指导学生
已指导学生
孙西龙 硕士研究生 085208-电子与通信工程
现指导学生
赵永敏 硕士研究生 085208-电子与通信工程
强毅博 硕士研究生 085208-电子与通信工程
贺金鹏 硕士研究生 085208-电子与通信工程
徐梓文 硕士研究生 085208-电子与通信工程
党鹏 硕士研究生 085208-电子与通信工程
吴东阳 硕士研究生 085209-集成电路工程