光学精密检测

集成电路装备

高端光刻机像质检测

 

   

080300-光学工程

高端光刻机像质检测技术
光学精密测量技术
波前传感技术

2008-09--2013-05   中国科学院上海光学精密机械研究所   博士
2004-09--2008-06   西安电子科技大学   学士

研究生

 

 

博士

 

   

2015-08~2017-06,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员
2013-07~2015-08,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员

   

   

   

   

（ 1 ） Multi field points wavefront aberration parallel measurement setup and method for lithography projection optics, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: US No.14984577
（ 2 ） Digital phase shfting lateral shearing interferometer and wavefront aberration metrology method for optial system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/ CN 2015/080419
（ 3 ） Digital phase shifting point diffraction interferometer and wavefront aberration metrology method for optical system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/CN 2015/080420
（ 4 ） 数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510216017.5
（ 5 ） 数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510256096.2
（ 6 ） 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510435697.X
（ 7 ） 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510757427.0
（ 8 ） 施瓦茨光学系统波像差测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201410455642.0
（ 9 ） 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3
（ 10 ） 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3
（ 11 ） 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3
（ 12 ） 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210356681.6
（ 13 ） 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径优化方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710229617.4
（ 14 ） 一种大尺寸二维平面光栅栅距检测方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610675861.9
（ 15 ） 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3
（ 16 ） 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3
（ 17 ） 波前传感器及波前测量方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510398987.1
（ 18 ） 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: ZL201410406641
（ 19 ） 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法, 发明, 2013, 第 5 作者, 专利号: ZL201310646820.3
（ 20 ） 平面光学元件面形检测方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: ZL201210289617.0

   

（1） Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, Optics Express, 2017, 第 9 作者
（2） Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2017, 第 1 作者
（3） Method for improving measurement efficiency of lateral shearing interferometry, Optical Engineering, 2017, 第 4 作者
（4） Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry, Optics Communications, 2016, 第 1 作者
（5） Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method, Applied Optics, 2016, 第 1 作者
（6） Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting, Journal of Optics, 2015, 第 4 作者
（7） Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2015, 第 4 作者
（8） Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations, Applied Optics, 2015, 第 4 作者
（9） Calibration of system errors in lateral shearing interferometer for EUV-wavefront metrology, Proc. SPIE, 2015, 第 4 作者
（10） Orthonormal polynomials for annular pupil including a cross-shaped obstruction, Applied Optics, 2015, 第 1 作者
（11） 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析, 中国激光, 2014, 第 4 作者
（12） A high-accuracy subaperture stitching system for nonflatness measurement of wafer stage mirror, Proc. SPIE, 2014, 第 7 作者
（13） 二维傅里叶变换干涉图相位提取误差分析, 中国激光, 2013, 第 4 作者
（14） High spatial resolution zonal wavefront reconstruction with improved initial value determination scheme for lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2013, 第 1 作者
（15） Use of numerical orthogonal transformation for the Zernike analysis of lateral shearing interferograms, Optics Express, 2012, 第 1 作者
（16） Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry: comparisons of existing algorithms, Applied Optics, 2012, 第 1 作者
（17） Generalized zonal wavefront reconstruction for high spatial resolution in lateral shearing interferometry, J. Opt. Soc. Am. A, 2012, 第 1 作者

（1） 剪切干涉术及其进展, 科学出版社, 2017-04, 第 3 作者

   

（ 1 ） 光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12
（ 2 ） 光栅剪切干涉区域法重建精度优化方法研究, 主持, 省级, 2014-07--2017-06