中国科学院上海微系统与信息技术研究所导师冯飞
作者：科大科院考研网 发表时间：2019-11-15 来源：研招办
科院考研推荐链接：
冯飞 男 硕导 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： fengfei507@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码： 200050
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程
085208-电子与通信工程
招生方向
微纳传感器
教育背景
2012-05--2013-05 加州大学伯克利分校 访问学者
2001-03--2004-06 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 博士
1998-09--2001-02 长春理工大学 硕士
1990-09--1994-07 湖北师范大学 学士
2001-03--2004-06 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 博士
1998-09--2001-02 长春理工大学 硕士
1990-09--1994-07 湖北师范大学 学士
学历
学位
工作经历
工作简历
2012-05~2013-05,加州大学伯克利分校, 访问学者
2004-07~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员，副研究员（2006年1月起），研究员（2012年1月起）
2001-03~2004-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士
1998-09~2001-02,长春理工大学, 硕士
1990-09~1994-07,湖北师范大学, 学士
2004-07~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员，副研究员（2006年1月起），研究员（2012年1月起）
2001-03~2004-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士
1998-09~2001-02,长春理工大学, 硕士
1990-09~1994-07,湖北师范大学, 学士
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
专利成果
（ 1 ） 一种紫外探测器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410035671.1
（ 2 ） 一种光导型紫外探测器及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410035654.8
（ 3 ） 基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410264998.6
（ 4 ） 基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410264566.5
（ 5 ） 混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410270430.5
（ 6 ） 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510341296.8
（ 7 ） 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510341090.5
（ 8 ） 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510368985.8
（ 9 ） 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610507286.7
（ 10 ） 一种基于双面键合工艺的微色谱柱及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124553.3
（ 11 ） 微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611123850.6
（ 12 ） 薄膜型微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124545.9
（ 13 ） 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
（ 14 ） 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
（ 15 ） 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343149.0
（ 16 ） 微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621342682.5
（ 17 ） 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343162.6
（ 18 ） 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2017218125749.7
（ 19 ） 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816759.2
（ 20 ） 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816757.3
（ 21 ） 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711406527.4
（ 22 ） 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711403787.6
（ 23 ） 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711405281.9
（ 24 ） 双固定相气相色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810654078.3
（ 25 ） 双固定相气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201820970265.8
（ 2 ） 一种光导型紫外探测器及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410035654.8
（ 3 ） 基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410264998.6
（ 4 ） 基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410264566.5
（ 5 ） 混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410270430.5
（ 6 ） 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510341296.8
（ 7 ） 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510341090.5
（ 8 ） 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510368985.8
（ 9 ） 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610507286.7
（ 10 ） 一种基于双面键合工艺的微色谱柱及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124553.3
（ 11 ） 微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611123850.6
（ 12 ） 薄膜型微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124545.9
（ 13 ） 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
（ 14 ） 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
（ 15 ） 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343149.0
（ 16 ） 微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621342682.5
（ 17 ） 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343162.6
（ 18 ） 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2017218125749.7
（ 19 ） 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816759.2
（ 20 ） 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816757.3
（ 21 ） 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711406527.4
（ 22 ） 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711403787.6
（ 23 ） 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711405281.9
（ 24 ） 双固定相气相色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810654078.3
（ 25 ） 双固定相气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201820970265.8
出版信息
发表论文
（1） Pore Size Effect of Mesoporous Silica Stationary Phase on the Separation Performance of Microfabricated Gas Chromatography Columns, Journal of Chromatography A, 2018, 第 11 作者
（2） 一种新型半填充微气相色谱柱芯片研究, 传感器与微系统, 2018, 第 11 作者
（3） 单片集成微型气相色谱芯片研究, 分析化学, 2018, 第 11 作者
（4） 基于MEMS的微型气相色谱柱研究进展, 色谱, 2018, 第 11 作者
（5） 基于MEMS的高深宽比气相微色谱柱研究, 色谱, 2018, 第 11 作者
（6） A micro gas chromatographic column with embedded elliptical cylindrical posts, Journal of Chromatography A, 2018, 第 11 作者
（7） Improved separation of micro gas chromatographic column using mesoporous silica as a stationary phase support, Talanta, 2018, 第 11 作者
（8） Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2018, 第 11 作者
（9） 微型热导检测器温控模块的研究, 传感器与微系统, 2017, 第 11 作者
（10） Effect of pore size of stationary phase on the seperation performance of chip-based gas chromatography columns, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 11 作者
（11） High sensitive micro thermal conductivity detector with sandwich structure, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 1 作者
（12） Tiny-sized ultra-sensitive infrared-thermopile fabricated with a single-sided bulk-silicon micromachining technique, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 5 作者
（13） The exploration of mesoporous silica as a stationary phase support for semi-packed micro-fabricated gas chromatographic(GC) column, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 11 作者
（14） Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded elliptic cylindrical posts, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 11 作者
（15） MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array, Microsystem technologies, 2016, 第 1 作者
（16） 光读出红外成像芯片真空封装研究, 传感器与微系统, 2015, 第 11 作者
（17） Uncooled infrared detector based on silicon diode Wheatstone bridge, Microsystem technologies, 2015, 第 1 作者
（18） An uncooled optically readable infrared focal plane array, TRANSDUCERS 2015, 2015, 第 1 作者
（19） Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, Journal of infrared and millimeter waves, 2015, 第 11 作者
（2） 一种新型半填充微气相色谱柱芯片研究, 传感器与微系统, 2018, 第 11 作者
（3） 单片集成微型气相色谱芯片研究, 分析化学, 2018, 第 11 作者
（4） 基于MEMS的微型气相色谱柱研究进展, 色谱, 2018, 第 11 作者
（5） 基于MEMS的高深宽比气相微色谱柱研究, 色谱, 2018, 第 11 作者
（6） A micro gas chromatographic column with embedded elliptical cylindrical posts, Journal of Chromatography A, 2018, 第 11 作者
（7） Improved separation of micro gas chromatographic column using mesoporous silica as a stationary phase support, Talanta, 2018, 第 11 作者
（8） Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2018, 第 11 作者
（9） 微型热导检测器温控模块的研究, 传感器与微系统, 2017, 第 11 作者
（10） Effect of pore size of stationary phase on the seperation performance of chip-based gas chromatography columns, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 11 作者
（11） High sensitive micro thermal conductivity detector with sandwich structure, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 1 作者
（12） Tiny-sized ultra-sensitive infrared-thermopile fabricated with a single-sided bulk-silicon micromachining technique, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 5 作者
（13） The exploration of mesoporous silica as a stationary phase support for semi-packed micro-fabricated gas chromatographic(GC) column, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 11 作者
（14） Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded elliptic cylindrical posts, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 11 作者
（15） MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array, Microsystem technologies, 2016, 第 1 作者
（16） 光读出红外成像芯片真空封装研究, 传感器与微系统, 2015, 第 11 作者
（17） Uncooled infrared detector based on silicon diode Wheatstone bridge, Microsystem technologies, 2015, 第 1 作者
（18） An uncooled optically readable infrared focal plane array, TRANSDUCERS 2015, 2015, 第 1 作者
（19） Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, Journal of infrared and millimeter waves, 2015, 第 11 作者
发表著作
科研活动
科研项目
（ 1 ） 气相色谱型便携式气体检测系统用MEMS核心元件研发, 主持, 省级, 2014-11--2017-10
（ 2 ） 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与, 国家级, 2014-01--2017-12
（ 3 ） 微纳器件集成与系统示范应用, 主持, 国家级, 2018-05--2023-04
（ 4 ） 中医诊断传感器及信息微系统技术, 参与, 省级, 2018-07--2020-06
（ 5 ） 基于ZnO/Ga2O3核壳微米结构的高性能异质结雪崩型日盲探测器的研制, 参与, 省级, 2018-01--2020-12
（ 2 ） 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与, 国家级, 2014-01--2017-12
（ 3 ） 微纳器件集成与系统示范应用, 主持, 国家级, 2018-05--2023-04
（ 4 ） 中医诊断传感器及信息微系统技术, 参与, 省级, 2018-07--2020-06
（ 5 ） 基于ZnO/Ga2O3核壳微米结构的高性能异质结雪崩型日盲探测器的研制, 参与, 省级, 2018-01--2020-12
参与会议
（1）Study for Multifunctional Micro Gas Chromatography Separation Column Bowen Tian 2018-06-24
（2）A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDs Bowen Tian 2018-06-24
（3）Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMIT Feng Fei 2018-05-22
（4）MEMS制造工艺 微机电系统（MEMS）高级培训课程 冯飞 2017-10-22
（5）基于MEMS的小型气相色谱仪 第21 届全国色谱学术报告会及仪器展览会 冯飞 2017-05-19
（6）MEMS制造工艺 微机电系统（MEMS）高级培训课程 冯飞 2016-10-28
（2）A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDs Bowen Tian 2018-06-24
（3）Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMIT Feng Fei 2018-05-22
（4）MEMS制造工艺 微机电系统（MEMS）高级培训课程 冯飞 2017-10-22
（5）基于MEMS的小型气相色谱仪 第21 届全国色谱学术报告会及仪器展览会 冯飞 2017-05-19
（6）MEMS制造工艺 微机电系统（MEMS）高级培训课程 冯飞 2016-10-28
合作情况
项目协作单位
指导学生
