中国科学院微电子研究所傅剑宇 女 硕导
作者：科大科院考研网 发表时间：2019-11-17 来源：研招办
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研究领域
招生信息
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
微机电系统
光电器件
光电器件
教育背景
2005-09--2010-06 中国科学院微电子研究所 博士
2001-09--2005-06 四川大学 学士
2001-09--2005-06 四川大学 学士
学历
学位
工作经历
工作简历
2014-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2013-05~2014-05,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 副研究员
2011-11~2013-04,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 助理研究员
2010-07~2011-10,重庆大学, 讲师
2005-09~2010-06,中国科学院微电子研究所, 博士
2001-09~2005-06,四川大学, 学士
2013-05~2014-05,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 副研究员
2011-11~2013-04,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 助理研究员
2010-07~2011-10,重庆大学, 讲师
2005-09~2010-06,中国科学院微电子研究所, 博士
2001-09~2005-06,四川大学, 学士
社会兼职
教授课程
微机电系统基础
专利与奖励
奖励信息
专利成果
（ 1 ） 一种氮化硅薄膜制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201710966563.X
（ 2 ） 一种连续太赫兹波成像系统及其方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710265958.7
（ 3 ） 丙酮气敏传感器及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410621459.3
（ 4 ） 加速度开关及其控制方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201310162834.8
（ 5 ） 微型湿度传感器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201811069136.2
（ 2 ） 一种连续太赫兹波成像系统及其方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710265958.7
（ 3 ） 丙酮气敏传感器及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410621459.3
（ 4 ） 加速度开关及其控制方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201310162834.8
（ 5 ） 微型湿度传感器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201811069136.2
出版信息
发表论文
（1） Low atomic number silicon nitride films for transmission electron, Materials Science in Semiconductor Processing, 2019, 第 1 作者
（2） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensors with Low Power Consumption, sensors, 2019, 第 11 作者
（3） Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes without, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 第 11 作者
（4） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensor with Low Power Consumption, sensors, 2019, 第 11 作者
（5） Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes withou theating structure, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 第 11 作者
（6） Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process, Materials Science in Semiconductor Processing, 2018, 第 1 作者
（7） Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 第 1 作者
（8） Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma‑enhanced chemical vapor deposition, Microsyst Technol, 2017, 第 1 作者
（9） Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, Thin Solid Films, 2016, 第 11 作者
（10） Optical sensitivity non-uniformity analysis and optimization of a tilt optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 第 1 作者
（11） Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 第 1 作者
（2） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensors with Low Power Consumption, sensors, 2019, 第 11 作者
（3） Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes without, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 第 11 作者
（4） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensor with Low Power Consumption, sensors, 2019, 第 11 作者
（5） Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes withou theating structure, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 第 11 作者
（6） Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process, Materials Science in Semiconductor Processing, 2018, 第 1 作者
（7） Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 第 1 作者
（8） Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma‑enhanced chemical vapor deposition, Microsyst Technol, 2017, 第 1 作者
（9） Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, Thin Solid Films, 2016, 第 11 作者
（10） Optical sensitivity non-uniformity analysis and optimization of a tilt optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 第 1 作者
（11） Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 第 1 作者
