中国科学院长春光学精密机械与物理研究所龚学鹏 男 硕导
作者：科大科院考研网 发表时间：2019-11-22 来源：研招办
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研究领域
招生信息
招生专业
080201-机械制造及其自动化
招生方向
束线光学及装备技术，EUV光刻关键技术
教育背景
2007-09--2010-06 吉林大学 博士
2005-09--2007-07 吉林大学 硕士
2001-09--2005-07 吉林大学 学士
2005-09--2007-07 吉林大学 硕士
2001-09--2005-07 吉林大学 学士
学历
学位
工作经历
工作简历
2018-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员
2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2007-09~2010-06,吉林大学, 博士
2005-09~2007-07,吉林大学, 硕士
2001-09~2005-07,吉林大学, 学士
2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2007-09~2010-06,吉林大学, 博士
2005-09~2007-07,吉林大学, 硕士
2001-09~2005-07,吉林大学, 学士
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
专利成果
（ 1 ） 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN201510190428.1
（ 2 ） 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN201410311668.8
（ 3 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN201510229051.6
（ 4 ） 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510289240.2
（ 5 ） 一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510316760.8
（ 6 ） EUV多层膜碳污染实验装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510213471.5
（ 2 ） 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN201410311668.8
（ 3 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN201510229051.6
（ 4 ） 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510289240.2
（ 5 ） 一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510316760.8
（ 6 ） EUV多层膜碳污染实验装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510213471.5
出版信息
发表论文
（1） Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2018, 第 1 作者
（2） 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统, 光学精密工程, 2017, 第 11 作者
（3） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2016, 第 1 作者
（4） Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, Journal of X-Ray Science and Technology, 2015, 第 1 作者
（5） X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者
（6） Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, Advances in Mechanical Engineering, 2014, 第 1 作者
（7） X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试, 光学精密工程, 2014, 第 1 作者
（2） 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统, 光学精密工程, 2017, 第 11 作者
（3） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2016, 第 1 作者
（4） Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, Journal of X-Ray Science and Technology, 2015, 第 1 作者
（5） X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者
（6） Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, Advances in Mechanical Engineering, 2014, 第 1 作者
（7） X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试, 光学精密工程, 2014, 第 1 作者
发表著作
科研活动
科研项目
（ 1 ） 极紫外多层膜表面碳沉积的机理、检测方法及去除策略研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12
（ 2 ） 激光位移传感器产业化技术研究, 主持, 省级, 2015-01--2017-12
（ 3 ） 短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 主持, 国家级, 2015-07--2018-07
（ 4 ） EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与, 国家级, 2012-01--2018-12
（ 5 ） 软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与, 研究所（学校）, 2016-12--2017-12
（ 6 ） 同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 主持, 研究所（学校）, 2017-12--2020-12
（ 7 ） 软X射线光栅单色器, 参与, 研究所（学校）, 2017-11--2020-06
（ 8 ） 基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 主持, 国家级, 2020-01--2023-12
（ 2 ） 激光位移传感器产业化技术研究, 主持, 省级, 2015-01--2017-12
（ 3 ） 短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 主持, 国家级, 2015-07--2018-07
（ 4 ） EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与, 国家级, 2012-01--2018-12
（ 5 ） 软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与, 研究所（学校）, 2016-12--2017-12
（ 6 ） 同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 主持, 研究所（学校）, 2017-12--2020-12
（ 7 ） 软X射线光栅单色器, 参与, 研究所（学校）, 2017-11--2020-06
（ 8 ） 基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 主持, 国家级, 2020-01--2023-12
参与会议
合作情况
项目协作单位
指导学生
