电子学研究所 刘昶 男 博导
作者：科大科院考研网 发表时间：2019-12-28 来源：研招办
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研究领域
微机电系统，传感技术及系统
招生信息
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
传感器、仿生传感器、各种传感器应用
微机电系统
薄膜材料微机电加工
微机电系统
薄膜材料微机电加工
教育背景
1990-07--1996-01 加州理工学院 博士
1986-07--1990-07 清华大学 学士
1986-07--1990-07 清华大学 学士
教授课程
技术创新导论、 传感器导论、 微机电系统导论
专利与奖励
奖励信息
（1） IEEE Fellow，一等奖，其他级，2011
（2） Willett Faculty Scholar，其他级，2005
（3） Faculty Associate, the Center for Advanced Studies，其他级，2004
（4） College of Engineering Xerox Award for Faculty Res，其他级，2004
（5） Inducted to the Univ. Illinois Office of Technolog，其他级，2003
（6） Univ. Illinois Incomplete List of Teachers Ranked，其他级，2001
（7） National Science Foundation, CAREER Award for youn，其他级，2000
（8） Best contributed paper award, International Confer，其他级，1998
（9） Ou-You Yi Award for Outstanding Young Scholar from，其他级，1996
（2） Willett Faculty Scholar，其他级，2005
（3） Faculty Associate, the Center for Advanced Studies，其他级，2004
（4） College of Engineering Xerox Award for Faculty Res，其他级，2004
（5） Inducted to the Univ. Illinois Office of Technolog，其他级，2003
（6） Univ. Illinois Incomplete List of Teachers Ranked，其他级，2001
（7） National Science Foundation, CAREER Award for youn，其他级，2000
（8） Best contributed paper award, International Confer，其他级，1998
（9） Ou-You Yi Award for Outstanding Young Scholar from，其他级，1996
专利成果
（1） Conformal mesh for thermal imaging，发明，2010，第1作者，专利号：7, 768, 376
（2） Artificial lateral line，发明，2011，第1作者，专利号：8, 056, 419
（3） Micromachined artificial haircell，发明，2010，第1作者，专利号：7, 661, 319
（4） Microfabricated micro fluid channels，发明，2010，第1作者，专利号：7, 737, 045
（5） Soft MEMS，发明，2013，第1作者，专利号：8,431,080
（2） Artificial lateral line，发明，2011，第1作者，专利号：8, 056, 419
（3） Micromachined artificial haircell，发明，2010，第1作者，专利号：7, 661, 319
（4） Microfabricated micro fluid channels，发明，2010，第1作者，专利号：7, 737, 045
（5） Soft MEMS，发明，2013，第1作者，专利号：8,431,080
出版信息
发表论文
（1） Pneumatically Actuated Active Polymer Pen Lithography，Sensors and Actuators A: Physical，2011，通讯作者
（2） A tri-axial touch sensor with direct silicon to PC-board packaging，Sensors and Actuators A:Physical，2011，通讯作者
（3） Gold-Nanoparticle Based Biodetection For Chip-based Portable Diagnosis Systems，Journal of the Association for Laboratory Automation，2010，通讯作者
（4） Comprehensive characterization of contact, bulk and total resistance of strain-sensitive nanocomposite elastomer，The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems，2010，通讯作者
（2） A tri-axial touch sensor with direct silicon to PC-board packaging，Sensors and Actuators A:Physical，2011，通讯作者
（3） Gold-Nanoparticle Based Biodetection For Chip-based Portable Diagnosis Systems，Journal of the Association for Laboratory Automation，2010，通讯作者
（4） Comprehensive characterization of contact, bulk and total resistance of strain-sensitive nanocomposite elastomer，The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems，2010，通讯作者
发表著作
（1） 突破创新禁区，N/A，清华大学出版社，2010-07，第1作者
（2） 微纳传感器，Micro and Nano Sensors，CRC Mechatronics Handbook，2002-09，第1作者
（3） 微机电系统导轮，Foundations of MEMS，Pearson Prentice-Hall，2001-07，第1作者
（4） N/A，Miniaturization and MEMS technology, in Automation, Miniature Robotics and Sensors for Nondestructive Evaluation and Testing，Ame
