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从事微电子科学技术领域,主要涉及存储器模型机理、材料结构、核心共性技术和集成电路的微纳加工等方面
(1) 2017年度何梁何利基金科学与技术进步奖(电子信息技术奖), 一等奖, 其他, 2017
(2) 氧化物阻变存储器机理与性能调控, 二等奖, 国家级, 2016
(3) 阻变存储器机理与性能调控, 一等奖, 省级, 2015
(4) 极大规模集成电路关键技术研究集体, , 院级, 2014
(5) 阻变存储器及集成的基础研究, 二等奖, 省级, 2014
(6) 高精度微纳结构掩模制造核心技术, 二等奖, 国家级, 2013
(7) 中国真空学会“中国真空科技成就奖(莱宝奖)”, , 其他, 2012
(8) 2011年度中国科学院“优秀研究生指导教师”, , 研究所(学校), 2011
(9) 2011年度中国科学院“朱李月华优秀教师”, , 研究所(学校), 2011
(10) 微纳结构‘自上而下’制备核心技术与集成应用, 一等奖, 省级, 2010
(11) 移动通讯用滤波器关键技术及产业化, 二等奖, 国家级, 2009
(12) 中高频声表面波关键材料与器件研究, 二等奖, 国家级, 2007
(13) 中高频声表面波关键材料与器件研究, 一等奖, 省级, 2006
(14) 亚30nm CMOS器件及其关键技术, 二等奖, 国家级, 2005
(15) 27nm CMOS器件, 一等奖, 省级, 2004
(16) 0.18um的集成电路工艺技术, 二等奖, 省级, 2002
(17) 纳米硅薄膜微结构与物性研究, 三等奖, 部委级, 1999